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            产品资料

            EBARA ESR系列 真空泵维修

            如果您对该产品感兴趣的话,可以
            产品名称: EBARA ESR系列 真空泵维修
            产品型号: ESR100WN
            产品展商: EBARA真空泵维修
            产品文档: 无相关文档

            简单介绍

            苏州曼特莱精密电子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵维修以及各类进口真空泵维修。配件确保原装进口,物美价廉。


            EBARA ESR系列 真空泵维修  的详细介绍
            ESR系列是新研发的应用广泛的罗杆式干式真空泵,对于L/L,SEM等较轻负荷的制程和腐蚀性制程都可以使用。 性能上具有排气速度可调节,高通信处理功能,从而适应了省功耗,占地面积小,重量轻的工艺要求。
             
            特点:
             *适合用于轻负荷的制程及腐性气体制程      
             低的运行成本,省功耗,*大可60%(与本公司AA系列相比
             无需N2来做密封(ESR20N
             小型化,重量,*大减少40% (与本公司AA系列相比
             增加速控制
             高性能的通信机能
             采用高度控制的运
             
             
            ESR Series
            Specifications Unit ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
            Pumping Speed 
            50/60 Hz
            抽气速度
            CFM
            46 - 71
            141 - 300
            353 - 706
            1059
            L/min
            1300 - 2000
            4,000 - 8,500
            10,000 - 20,000
            30,000
            M3/Hr
            78 - 120
            240 - 510
            600 - 1,200
            1,800
            Ultimate Pressure 
            50/60 Hz
            mTorr 5 1.5 1 1.5
            Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
            mBar 0.0067 0.002 0.0013 0.002
            Connection
            接口
            Gas Inlet
            NW 40
            NW 50
            ISO100
            NW 100
            Gas Outlet
            NW 40
            NW 40
            NW 40
            NW 40
            Power at Ultimate Pressure
            到达底压时的功率 
            KW
            0.55 - 0.70
            0.8 - 1.9
            0.8 - 1.1
            2.9
            Maximum Power
            *大功率
            KW 2.5 4.5 5 7.5
            Cooling Water Requirements
            冷却水要求
            Min. Flow Rate 2 2 2 3.5
            L/min
            Bearing and Dilution N2
            隔离和稀N2
            Bearing Seals
            0 to 12
            2 to 12
            2 to 12
            2 to 12
            L/min
            Cabinet Dimensions inches
            25 x 11 x 12.6
            26 x 15 x 25.8
            31.1 x 15 x 25.8
            33 x 19 x 35
            LxWxH
            外型尺寸 
            mm
            635 x 280 x 320
            660 x 380 x 655
            790 x 380 x 644
            (825 x 460 x 880)
            Weight
            重量
            lbs 200 400 520 860
            kg 90 180 250 390

            产品名称:EBARA ESR100WN真空泵维修

            苏州曼特莱精密电子有限公司主营:
            一、进口真空泵维修
            1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
            2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
            3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
            5、EBARA(荏原):ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列,EBARA ESR100WN真空泵维修等
            6、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
            7、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
            8、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
            9、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
            10、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
            11、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

            二、进口真空泵配件销售:
            1、类型:真空泵专用维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
            2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。

            三、进口真空油销售:
            品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS专用真空油、ADIXEN专用真空油等。
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